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技術(shù)文章/ article
更新時間:2026-05-18
瀏覽次數(shù):23在精密科研、電子制造與工業(yè)實驗室場景中,高真空度、低噪音、穩(wěn)定可靠的真空泵是核心輔助設(shè)備。日立旗下 himac 品牌推出的VR16G/VR16 雙級直結(jié)式油旋轉(zhuǎn)真空泵,以 “靜音低振、節(jié)能高效、極限高真空" 為核心優(yōu)勢,成為電子顯微鏡、質(zhì)譜儀、真空鍍膜、離心濃縮等設(shè)備的理想前級泵,精準(zhǔn)滿足實驗室與精密工業(yè)對真空環(huán)境的嚴(yán)苛需求。

一、產(chǎn)品定位與型號差異
VR16G 與 VR16 同屬 himac 雙級直聯(lián)油旋片泵系列,核心結(jié)構(gòu)與性能參數(shù)一致,僅在氣鎮(zhèn)閥配置上區(qū)分,適配不同抽氣工況:
VR16(標(biāo)準(zhǔn)型):無氣鎮(zhèn)閥,專注干燥氣體抽真空,極限真空度更高,適合追求真空的純物理實驗、精密鍍膜、電子器件排氣等場景。
VR16G(氣鎮(zhèn)型):搭載氣鎮(zhèn)閥(Gas Ballast),可引入少量干燥空氣稀釋可凝性氣體(水蒸氣、有機溶劑蒸汽),有效防止泵油乳化變質(zhì),延長換油周期,適配含水、含溶劑的真空干燥、脫泡、蒸餾等場景。
二、核心技術(shù)參數(shù):精準(zhǔn)匹配精密需求
作為雙級旋片結(jié)構(gòu)的直結(jié)式泵,VR16 系列以緊湊設(shè)計實現(xiàn)強勁真空性能,關(guān)鍵參數(shù)如下:
抽氣速率:50Hz 工況 140L/min,60Hz 工況 168L/min,快速建立真空,縮短設(shè)備待機時間。
極限真空度:VR16(關(guān)氣鎮(zhèn))達10?2Pa 級;VR16G 開氣鎮(zhèn)時為 1Pa 級,兼顧高真空與抗蒸汽能力。
電機與能耗:AC100V 單相電機,功率 0.4kW,50Hz 電流 3.2A、60Hz 電流 2.6A,低功耗設(shè)計,長期運行更節(jié)能。
噪音與振動:50Hz 高真空狀態(tài)下噪音僅45dB(A),60Hz 為 48dB (A),搭配整體防振阻尼支撐,振動極低,適配安靜實驗室環(huán)境。
物理規(guī)格:尺寸 213×488×273mm,重量 26kg,泵油量 0.9L,進氣口外徑 φ22mm,小巧緊湊,便于臺面安裝與移動。
三、三大核心優(yōu)勢:科研與工業(yè)的可靠保障
1. 實驗室級靜音低振,守護精密實驗
VR16 系列針對科研場景優(yōu)化噪音與振動控制:排氣口搭載專用消音器,將運行噪音降至圖書館級靜音水平;整機采用防振阻尼底座,減少振動傳遞,既避免干擾電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等精密設(shè)備的檢測精度,又降低自身部件磨損,延長使用壽命。
2. 雙級結(jié)構(gòu) + 節(jié)能設(shè)計,高效穩(wěn)定
雙級旋片結(jié)構(gòu)實現(xiàn)10?2Pa 級極限真空,滿足高真空場景需求;直結(jié)式驅(qū)動無傳動損耗,配合電容運轉(zhuǎn)式電機,能耗比傳統(tǒng)泵降低 30% 以上,長時間連續(xù)運行穩(wěn)定不發(fā)熱,適配 24 小時不間斷真空作業(yè)。
3. 氣鎮(zhèn)閥差異化設(shè)計,適配多元工況
VR16G 的氣鎮(zhèn)閥功能解決可凝性氣體抽除難題,防止水蒸氣、溶劑蒸汽導(dǎo)致泵油乳化、真空度下降;VR16 專注干燥氣體,實現(xiàn)更高極限真空,兩款型號覆蓋從基礎(chǔ)真空實驗到精密工業(yè)排氣的全場景需求。
四、典型應(yīng)用場景
精密科研儀器:電子顯微鏡、質(zhì)譜儀、光譜儀的前級泵,為離子泵、擴散泵提供穩(wěn)定前置真空。
實驗室真空設(shè)備:真空干燥箱、離心濃縮儀、真空脫泡機、冷凍干燥機配套泵。
電子與半導(dǎo)體工業(yè):半導(dǎo)體晶圓檢測、LCD/OLED 面板排氣、小型鍍膜機、真空管 / 燈泡制造排氣。
工業(yè)與理化實驗:真空吸附、真空蒸餾、材料脫泡、高校 / 研究所真空實驗裝置。
五、選型與維護建議
抽除干燥氣體、追求極限真空 → 選VR16
抽除水蒸氣、有機溶劑蒸汽 → 選VR16G(帶氣鎮(zhèn))
維護要點:定期更換專用真空泵油,保持進氣口清潔,氣鎮(zhèn)閥定期清潔保養(yǎng),可大幅延長泵體壽命,維持穩(wěn)定真空性能。
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